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半导体高洁净密封圈

Resistance Plasme FFKM,Ultrapure FFKM ,

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豪欧提供各种耐腐蚀,高洁净,高纯净的密封圈,密封件

执行标准:GB / T 3452,AS568,BS1516,JIS B2401,OEM,非标件参考ISO3302.1 M2等级公差

工作压力:0-40Mpa

工作温度:-60℃~327℃


针对电子面板和半导体行业对洁净度要求密封圈,我们开发的材料可以满足Low trace metal levels,Low particle release rates,Low outgassing要求的FFKM和FKM材料

1)对应要求超纯,我们的材料方案不添加任何填料,产品为纯净透明

2)对应耐Plasma,且高洁净度要求,我们的材料只添加有机PTFE成分,产品基本为本色,呈金黄半透明,棕色半透明等颜色

3)对应一般洁净要求,且要求降低成本,我们的材料有多种应对方案,产品基本为黑色,棕色,白色为主

4)我们的Ultrapure FFKM 材料可以满足 SEMI F57-03001 的超洁净规范要求

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